Ультразвуковая регуляция морфологии медных гальванических покрытий на печатных платах

СПбГТИ(ТУ), Санкт-Петербург

Электрохимическое меднение токопроводящей основы проводили в производственных условиях ФГУП ПО «Октябрь» (г. Каменск-Уральский, Свердловская обл.) в штатном режиме и при подаче регулятивного сигнала частотой 500 и 1000 кГц. Объектом исследования были тестовые пластины. Ультразвуковой сигнал подавался на катоды электрохимических ванн, работавших в импульсном и прямоточном режимах. Среднее акустическое давление в скин-слое антенны-вибратора ~150 Па. Полученные медные покрытия исследовались металлографически и с помощью растровой электронной микроскопии.

Рис. 1. РЭМ-фотограммы медных покрытий, полученных в импульсном режиме работы ванны

Рис. 2. РЭМ-фотограммы медных покрытий, полученных прямоточном режиме работы ванны 

Ультразвуковая регуляция изменяет морфологию медных слоев. Покрытия, полученные в контрольном импульсном и прямоточном режимах, имеют ячеистую (размер ячеек ~ 3-5 мкм), пористую (диаметр пор ~ 0,5 мкм), рыхлую структуру. Во всех регулятивных режимах слои более плотные, т.к. состоят из игольчатых образований размером 0,5х(1-5) мкм.