Томские ученые создали первую отечественную систему напыления тонких пленок в микроэлектронике

24.11.2023

Как сообщает ТАСС, специалисты ТУСУРа разработали и запатентовали первое отечественное устройство для создания аэрозолем тонкопленочных покрытий в микроэлектронике.

– Существующие технологии работают по плоским поверхностям. Уникальность новой технологии заключается в возможности нанесения материалов на криволинейные поверхности, например, на поверхность шара, причем внутреннюю. Подобных отечественных технологий в России нет. Новая технология открывает возможности применения иных принципов конструирования печатных узлов: когда печатная плата, которая сейчас используется, исключается полностью, а формирование проводящих дорожек осуществляется прямо на корпусе изделия, – рассказал завкафедрой радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга университета Василий Туев.

Отмечается, что нанесение мелкодисперсного состава с помощью аэрозоля позволяет добиваться формирования пленок нужной толщины, начиная от нанометровых значений. Запатентованное устройство станет частью принтера для нанесения проводящих дорожек на сложных поверхностях.